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第四層各廠間機動設置6套機動式FTIR（傅立葉紅外光譜儀）於停開車期間、溫度變化進行VOC監測。第五層廠區周界設置8套固定與移動式FTIR監測站，即時監測廠區內VOC逸散情形。
第三層在廠內共34支排放管道設CEMS（空氣汙染物連續自動監測設施），針對不透光率、二氧化硫與氮氧化物即時監測，管制空氣汙染物排放並與環保署、環保局、工業局服務中心連線。
六輕廠區環境監測管制中心宛如園區心臟，主掌著廣達2600多公頃廠區各製程及環境安全，「24小時全天候輪班，層層監測，讓整個園區像被金鐘罩保護著…」環境監測管制中心副處長楊國賓形容該監測中心強大功能，除了工安與環安監測系統外，還有連線中央氣象局的氣象及地震監測系統，以及其他如有線電視、電腦錄音、移動式車載攝影等監測系統，甚至擴及周界。
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楊國賓強調，考量麥寮地區風場的特性，第六至八層在廠外人口密集處豐安國小、台西幼兒園、海豐分校、麥寮中學、台西國中等11所學校，共設置10座光化測站及1座VOC測站。
楊國賓說，為降低外界疑慮，園區環境監控採源頭管制，共設置8層監測系統，由內而外密集監控。廠內有5層，第一層是各廠內製程區固定式氣體偵測器就多達8109個，第二層利用39部GasFindIR （紅外線氣體顯像測漏儀），可於廠內製程區大範圍掃描，掌握VOC（揮發性有機物）洩漏源，進一步維修改善。
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